Wissenswertes – Plasma Reiniger

„GV10x – Downstream Asher”

mit der

patentierten Plasma Quelle

Mit dem “GV10x – Downstream Asher“ können alle SEM, TEM, Dual-Beam, XPS, Synchrotron, CD-SEM oder andere Vakuumkammern und die darin befindlichen Proben von Kohlenwasserstoffketten gereinigt werden.

Bereits nach kurzer Zeit bilden sich – durch den Beschuss mit einem Elektronenstrahl – sehr häufig dunkle Flecken auf der Probe. Der Elektronenstrahl implantiert gewissermaßen den Kohlenwasserstoff auf der Objektoberfläche. Durch immer dicker werdende Schichten können die entscheidenden Informationen letztendlich nicht mehr gesehen werden.
Aber auch ohne den Beschuss von Elektronen verunreinigen die Kohlenwasserstoffe alle Oberflächen.

Durch Reinigen der Proben und der Probenkammer wird die Kontaminierung stark reduziert. Der Kohlenwasserstoff wird durch das Plasma des GV10x in die Einzelbestandteile aufgespalten. Durch den sehr großen Vakuumbereich von 2 Torr bis < 5mTorr, in dem der Downstream Asher betrieben werden kann, können jederzeit sehr schnelle und effektive Reinigungen durchgeführt werden.
Die Einzelbestandteile des Kohlenwasserstoffs werden über die Vakuum-Pumpen abgepumpt. Ein Abschalten der Turbo-Pumpe ist nicht erforderlich.

Am Kontroller werden die Arbeitsparameter eingestellt und kontrolliert. Der Leistungsbereich kann selbst während des Reinigungsprozesses zwischen 10 – 99 Watt verändert werden.

Der extrem große Arbeitsbereich ermöglicht den Betrieb zwischen 2 Torr und <5 mTorr.

Dadurch können die Kohlenwasserstoffketten auch bei eingeschalteter Turbo-Pumpe reduziert bzw. entfernt werden.

Der Betrieb des GV10x birgt keinerlei Gefahr für die Turbo-Pumpe oder dem Interlock des Vakuum-Systems.

Weitere Informationen geben wir Ihnen gerne in einem persönlichen Gespräch.

GV10x patentierte Plasma Quelle:
Der Anschluss an das jeweilige SEM oder TEM erfolgt über einen KF oder CF Flansch. Dieser ist an vielen Systemen bereits vorhanden.

Falls kein Port an Ihrem System zur Verfügung steht, kann optional ein individueller Flansch gebaut und geliefert werden.

Remote Control
Auf der Rückseite des GV10x – Kontrollers kann optional ein „Remote – Control – GUI“ angeschlossen werden.

Mit der dazugehörigen Software kann der GV10x von einem Rechner über eine USB oder serielle Schnittstelle betrieben werden.

Es können von dem Computer aus alle Parameter eingestellt und dann von dort aus ein- bzw. ausgeschaltet werden.

Der Kontroller kann hinter Ihrem System platziert werden und nimmt keinen Platz auf Ihrem Arbeitstisch ein.

Die neue V2-Software beinhaltet zusätzlich
– Sicherheitsabfrage des „Gun – Valve“
– „Pressure Trigger“ zur autom. Reinigung
– etc.

In der unten dargestellten Tabelle bzw. Graphik kann man den extrem großen Arbeitsbereich des GV10x – Downstream Asher sehen. Die patentierte Plasma-Quelle ermöglicht es, ohne Gefahren für die Turbo-Pumpe oder dem Interlock in einem Bereich von 2 Torr bis < 5mTorr zu arbeiten.

GV10x Operating Plasma Pressures vs. mean free path

Parameter

GV10x Kontroller:

RF Generator         13.56 MHz,
Netzspannung       100-230 VAC 50/60 Hz
Leistungsaufn.       500VA
Impedanz                50 Ohms

Größe BT-Kontroller
173 x 209 x 439 mm
Größe U2-Kontroller
89 x 432 x 374

GV10x Plasma Quelle:

Leistungsbereich       10 – 99 W
Vakuumbereich         2 Torr – < 5 mTorr
2,67 mBar – < 6,7 E-3 mBar
267 Pa – < 0,67 Pa
Leckrate                      1 E-8 Torr (1,3 E-9 Pa-m3/s)
Anschluss                    KF40, KF25, CF oder QS
Größen                         H/B/T 104/183/79 mm
Gewicht                       1,4 kg

Zertifikate / Patente

SEMI S2-0706 / S8-0307 Certificate of Compliance
Document Number: 500158379F Issued: 2009-08-31

B Test Certificate Ref. Number:
US/2134/ITS Issued: 2009-09-17

 

Wir beraten Sie gerne ausführlich, nehmen Sie Kontakt mit uns auf.